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空气中的灰尘和机械杂质由空气Bai过滤器Du去除，并在无油空气压缩机中压缩至<0.7MPa。压缩产生的热刀经水冷器换热后被冷却水带走，进入预冷机组预冷至（2～10）℃。在此阶段，部分游离水被分离，然后进入分子筛净化器（ms1201或ms1202）进行切换。空气中残留的水蒸气、二氧化碳、乙炔和其他碳氢化合物被吸附。分子筛净化器的两个吸附筒交替使用，一个工作，另一个再生。两组净化器吸附缸由程序控制器控制，定时自动切换。
净化器的净化干燥空气温度升至~15℃。分为两部分：大部分空气进入空分冷却箱，与主板翅式换热器中的回流冷空气流（纯氧、纯氮、污水氮、压力氮气）进行换热。温度降至接近液化温度，经V1阀节流后进入下塔。
另一部分空气进入增压器增压后，约100m3/h的气体作为透平膨胀机机组的气体轴承用气，其余部分进入冷箱，与主板翅式换热器内的回流冷空气流（纯氧、纯氮、污水氮等）进行换热，然后通过中间抽汽阀V5或底吸阀V6泵出，进入膨胀机的膨胀制冷。膨胀空气通过V12阀进入塔或通过V11阀旁路进入污水氮气管道，经主换热器再热后排入冷箱。
在下塔中，空气最初分为液氮和富氧液态空气。冷凝蒸发器中上升的氮气与上塔底部的低压液氧进行换热，低压液氧同时液化汽化。液氮分为两路，一路通过V4阀作为下塔回流液进入下塔，另一路经冷却器与纯氮和污氮换热后通过V3阀进入上塔上部。下塔富氧液气从塔底抽出，经冷却器用纯氮气和污氮气过冷后，经V2阀节流作为回流液送入上塔。
进一步蒸馏后，在上塔顶部获得高纯度氮气，在上塔底部获得氧气。纯氮从上塔顶部抽出，经冷却器和主换热器重新加热后，送入冷箱压缩灌装或液化；污染氮气从上塔上部抽出，经冷却器和主换热器重新加热，然后出主换热器冷盒子的。一部分用作净化器的再生气体，另一部分排放。氧气经主换热器重新加热后，由冷箱送出压缩充液或液化，再加热加压，强制氮气通过主换热器，加热器由冷箱送出。
