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变压吸附空分制氧始创于20世纪60年代初(Skarstrom, 1960; Guerin de Montgarenil & Domine, 1964)，并于70年代实现工业化生产。在此之前，传统的工业空分装置大部分采用深冷精馏法(简称深冷法)。
自20世纪80年代以来，CaX和LiX等高吸附分离性能沸石分子筛的相继开发利用和工艺流程的改进使得变压吸附空分技术发展迅速。与深冷空分装置相比，PSA工艺具有启动时间短、停车方便、能耗低、运行成本低、自动化程度高、维护简单、占地面积小、土建成本低的特点。在不需要高纯氧的中小规模(不足100吨/天，相当于3000Nm3/h)氧气生产中，比深冷法更具竞争力。广泛应用于电炉炼钢、有色金属冶炼、玻璃加工、甲醇生产、炭黑生产、化肥生产、化学氧化工艺、纸浆漂白、污水处理、生物发酵、水产养殖、医疗和军事等领域(杨，1991；Kumar，1996；Jee,Park，Haam&Lee,2002)。
在过去的40年里，变压吸附空分制氧技术的研究进展主要表现在两个方面：一是空分制氧吸附剂及其吸附理论的研究，二是空分制氧工艺循环过程的研究(Sircar,1994；Ruthven.Faroq&Knaebel,1994)。虽然我国对该技术的研究起步较早，但在较长一段时间内发展相对缓慢。到了90年代，变压吸附制氧设备的优越性才逐渐得到国人的认可，近年来各种工艺的设备相继投产，给各行各业带来了巨大的经济效益。
